Einleitung Beschichtungsmethoden für Labor - und Industrie - Anwendungen: optische Linsen, Silizum Wafers, Displays, Magnetbänder, CD´s,
Werkzeuge, Architekturgläser, Uhrengehäuse, flexible Leiterplatten, sind nur eine kleine Zahl von Beispielen über alle verschiedenen Möglichkeiten. Es scheint verständlich, daß für alle diese verschiedenen
Aufgaben, verschiedene Sputterquellen mit angepaßten Geometrie - und Magnetsystemen erforderlich sind. FPT bietet das größte Sortiment an Sputterquellen mit einem der besten Preis-Leistungsverhältnisse. Geometrie
Runde Magnetrons Das kleinste PM ist ausgelegt für eine Targetgröße von 25 mm Ø (1") und das Größte für ein Target von 300 mm Ø (12").
Alle Zwischengrößen sind lieferbar. Sowohl DC als auch HF- Betriebe sind möglich. Zylindrische Magnetrons
Zylinder - oder Stabmagnetrons, obwohl nicht wirklich planar, werden unter den PM
- Typen geführt. Sie können in Abmessungen mit einem Durchmesser von 40 bis 100 mm und einer Länge von 100 bis 500 mm geliefert werden. Rechteckige Magnetrons
Alle sinnvollen
Kombinationen von Targetgrößen mit einer Breite ab 25 mm bis 300 mm und einer Länge von 100 mm bis 3500 mm oder mehr, sind lieferbar. Die Magnetrons können außen angeflanscht werden, oder innerhalb der
Vakuumkammer montiert werden. Wahlweise auch für HF-Betrieb geeignet. Targets
geklemmt, geklebt oder gelötet (gebonded) direkt oder indirekt wassergekühlt,
mit einer Dicke von 1 mm bis zu 12 mm (1/2"). Raten
Unter günstigsten Bedingungen können Sputterraten bis zu 4 µm /min für metallische Targets erzielt
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