Magnetsysteme Das "Herz" eines jeden PM´s ist das
Magnetsystem. Für jeden Typ von Sputterquellen können wir das geeignete Magnetmaterial wählen : Ferriten, CoSm, NdFeB, je nach gewünschter Einsatztemperatur, Gleichmäßigkeit, Leistungsdichte usw. Mit
kalibrierten Magneten lassen sich Gleichmäßigkeiten um ± 1 % erreichen. |
